气体质量流量控制器/流量计产品
1、 质量流量计，质量流量控制器的概念
质量流量计，即Mass Flow Meter (MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。
简单来说，质量流量计只测量不控制。而质量流量控制器，则带有控制阀门，既可以测量也可以控制气体流量大小。
2、 质量流量计，质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM (Standard Liter per Minute) 来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。
如果需要单位时间内流过的质量（如g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。
3、质量流量计／质量流量控制器的主要的优点
（1） 直接测量气体的质量流量
热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。
（2） 无可移动部分
本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。
（3） 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
（4） 测量控制的自动化
质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,?模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA,?数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,?能非常方便地与计算机连接,?进行自动控制。
（5） 精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。
（6） 准确度高，重复性好
准确度可达±1%F.S（full scale）重复性为±0.25%F.S（full scale）
（7） 体积小巧，安装方便，操作简单
（8） 技术先进，符合发展潮流
