关于我们RENHE

가스 질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller는 MFC로 약칭)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.가스 질량 유량계(Mass Flow Meter의 약자는 MFM)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하는 데 사용됩니다.확산, 산화, 분자 빔 외연, CVD, 플라즈마 부식, 사출, 이온 주입, 그리고 진공 도금 설비, 광섬유 정련, 마이크로 반응 장치, 혼합 가스 배합 시스템, 모세관 측정 기상 크로마토그래프, 광섬유 제조 설비 중.또한 석유화학공업, 야금, 제약 등에 널리 쓰인다.특징: 정밀도가 높고 중복성이 좋다.

1. 구조

MFM은 회로기판, 센서, 공기 흡입 파이프 커넥터, 분류기 채널 케이스 등 부품으로 구성되며 가스 품질 유량만 측정할 수 있습니다.MFM에 튜닝 밸브를 더해 MFC를 구성하면 가스 품질 유량을 측정하거나 유량을 제어할 수 있다.

2. 작업 원리

공기 흐름이 흡입관 거리로 들어간 후 대부분의 유량은 분류기 통로를 통과하며 그 중 아주 작은 부분은 센서 내부의 모세강관으로 들어간다.분류기 채널의 특수한 구조로 인해 이 두 부분의 기체 유량이 정비례 관계를 이룰 수 있다.센서는 예열 가온을 거쳐 안의 온도가 들어오는 기류 온도보다 높으며, 이때 모세강관 전열과 온도차 열량법 원리를 통해 이 작은 부분의 기체의 질량 유량을 측정한다.이런 방법으로 측정한 기체류량은 온도와 압력의 영향을 홀시할수 있으며 센서가 측정한 류량검측신호를 회로판에 입력하여 확대한후 출력하면 MFM의 기능을 완성할수 있다.회로기판에 PID 폐쇄 루프 자동 제어 기능을 추가하여 센서가 측정한 유량 검측 신호와 사용자가 준 설정 신호를 비교하고, 이를 기초로 조절 밸브를 제어하여 유량 검측 신호가 설정 신호와 동일하도록 함으로써 MFC의 기능을 실현하였다.