일반적으로 질량유량계는 주로 열식질량유량계, 차압식질량유량계와 코리올리질량유량계로 나뉜다.질량유량계는 종류에 따라 작동 원리가 다르다.
열식 질량 유량계의 작업 원리
열식 질량 유량계의 작동 원리는 김씨의 법칙(영어명: King's Law)에 근거한다.
외부 열원을 이용하여 파이프 안에서 측정된 기체를 가열하고, 열에너지는 기체와 함께 흐르며, 파이프 안에서 기체의 흐름으로 인해 발생하는 열량 변화를 측정한다. 즉 기체는 파이프 앞뒤의 온도 변화를 통해 기체의 질량 유량을 계산한다.또 다른 방법은 기체를 가열할 때 기체의 온도가 어느 한 점으로 상승하는 데 필요한 에너지와 기체의 질량 사이의 관계를 측정하여 기체의 질량 유량을 계산하는 것이다.