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1.질량유량계란?품질 트래픽 컨트롤러란 무엇입니까?
질량유량계, 즉 Mass Flow Meter(약칭 MFM)는 기체의 유량을 정확하게 측정하는 계기로서 그 측정값은 온도나 압력의 파동으로 인해 정확하지 않으며 온도압력보상이 필요하지 않다.
질량 유량 컨트롤러, 즉 Mass Flow Controller (MFC로 약칭) 는 질량 유량계의 기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 더 중요한 것은 사용자가 필요에 따라 유량 설정을 할 수 있는 가스 유량을 자동으로 제어할 수 있다는 것이다. MFC는 시스템 압력이 변동하거나 환경 온도가 변경되더라도 설정값에서 벗어나지 않도록 자동으로 유량을 설정값에 고정시킨다.간단히 말해서, 품질 트래픽 컨트롤러는 수동으로 설정하거나 컴퓨터와 연결하여 자동으로 제어할 수 있는 가스 안정 장치이다.
2. 품질 유량 컨트롤러의 원리는 무엇입니까?
품질 유량 컨트롤러는 유량 센서, 분류기 채널, 유량 조절 밸브와 증폭 컨트롤러 등 부분으로 구성된다.기체 유량 센서는 모세관 전열 온도차 양열법 원리로 기체의 질량 유량을 측정한다(온도 압력 보상 불필요).센서를 가열하여 브리지에서 측정한 유량 신호를 증폭기에 보내 증폭시키고, 증폭된 유량 검측 전압과 설정 전압을 비교한 다음, 차치 신호를 확대한 후 조절 밸브를 제어하고, 폐쇄 루프는 통로를 흐르는 유량을 제어하여 설정된 유량과 동일하게 한다.분류기가 주 채널의 트래픽을 결정합니다.품질 유량 컨트롤러와 조립된 유량 표시기에는 안정된 전원, 디지털 전압계, 전위기 설정, 주변기기, 내부장치 전환과 3자리 밸브 제어 스위치 등이 설치되어 있다.
3.어떤 상황에서 품질 유량계, 어떤 상황에서 품질 유량 컨트롤러를 사용합니까?
일반적으로 유량에 대해서만 계량하거나 모니터링할 때 품질유량계를 사용한다.트래픽을 제어해야 할 경우 품질 트래픽 컨트롤러를 사용합니다.어떤 측정 장소는 양자 모두 사용할 수 있는데, 예를 들면 모세관 유통 능력에 대한 측정은 정압으로 흐름을 측정할 때 품질 유량계를 사용한다;정류로 압력을 측정할 때는 질량 유량 컨트롤러를 사용해야 한다.품질 유량 컨트롤러가 세척 상태에 있을 때 품질 유량계로 사용할 수도 있습니다. 다만 기압 강하가 일반 품질 유량계보다 좀 더 큽니다.
질량유량계/질량유량컨트롤러의 주요 장점은 무엇입니까?
(1) 유량의 측정과 제어는 온도나 압력의 파동으로 인해 정확하지 않다.
대부분의 유량 측정 제어 시스템의 경우 시스템의 압력 변동과 환경 및 매체의 온도 변화를 피하기 어렵습니다.일반적인 유량계에 대해 압력 및 온도의 파동은 비교적 큰 오차를 초래할 수 있다;품질 유량계 / 품질 유량 컨트롤러의 경우 일반적으로 무시할 수 있습니다.
(2) 측정 제어의 자동화
질량 유량계 / 질량 유량 컨트롤러는 표준 신호를 출력하기 위해 유량 측정값을 출력할 수 있습니다.이렇게 하면 데이터에 대한 디지털 디스플레이, 누적 데이터 자동 계량, 데이터 자동 기록, 컴퓨터 관리 등을 쉽게 실현할 수 있다.품질 트래픽 컨트롤러의 경우 트래픽을 자동으로 제어할 수도 있습니다.일반적으로 아날로그 MFC/MFM 입출력 신호는 0~+5V 또는 4~20mA이며, 디지털식 MFC/MFM은 RS232 또는 RS485 디지털 직렬 통신구도 장착하여 컴퓨터와 쉽게 연결하고 자동으로 제어할 수 있다.
(3) 정확한 정량 제어 유량
품질 유량 컨트롤러는 기체의 정량을 정확하게 제어할 수 있는데, 이는 많은 공정 과정의 유량 제어, 서로 다른 기체의 비율 제어 등에 특히 유용하다.
(4) 적용 범위 넓이
매우 넓은 작업 압력 범위가 있으며, 우리 제품은 진공에서 10MPa까지 갈 수 있습니다.HCL과 같은 일부 부식성 가스를 포함하여 다양한 가스 매체에 적용할 수 있습니다.매우 넓은 트래픽 범위가 있습니다. 우리 제품의 최소 트래픽 범위는 0~5 sccm, * 트래픽 범위는 0~200 slm에 달합니다.트래픽 디스플레이의 해상도는 전체 거리의 0.1%에 달하고 트래픽 제어 범위는 전체 거리의 2~100%(단위 비율 - 50:1)이기 때문에 많은 분야에서 널리 활용되고 있다.
5. 질량유량계의 단점은 무엇입니까?품질 트래픽 컨트롤러를 사용할 때 가장 두려운 것은 무엇입니까?
상대적으로 저렴한 로터 유량계에 비해 품질 유량계의 주요 단점은 가격이 비교적 비싸다는 것이다.
품질 트래픽 컨트롤러는 다음과 같은 네 가지 두려움을 가지고 있습니다.
* 먼지를 두려워하여 먼지가 유량계에 들어가면 센서와 분류기를 막아 측정 오차를 초래할 수 있으므로 흡기구 앞에 필터를 추가하도록 요구한다.
둘째, 액체와 기름때가 MFC에 유입되면 통제 불능을 초래할 것을 우려하며, 만약 MFC의 수출에 액체 탱크가 연결되어 있다면 MFC 수출에 단방향 밸브를 추가하여 액체의 환류를 방지해야 한다;
셋째, 습한 부식성 기체를 사용할 것을 두려워하고, 습한 부식성 기체는 스테인리스강에 녹이 슬어 MFC 통로가 손상될 수 있기 때문에 부식성 기체를 사용하기 전에 기체와 MFC 파이프라인 시스템을 건조 처리해야 한다;
넷째, 강한 부식성, 인화성, 폭발성, 유독 등 위해성 기체를 사용할 때 안전 규칙에 따라 조작하지 않으면 제품 파손과 기타 더 심각한 손실을 초래할 수 있다.올바른 사용, 보안 작업은 모든 사용자에게 가장 중요합니다.
