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1. 품질 유량계, 품질 유량 컨트롤러의 개념
질량유량계, 즉 Mass Flow Meter (MFM) 는 기체의 유량을 정확하게 측정하는 계기로서 그 측정값은 온도나 압력의 파동으로 인해 정확하지 않으며 온도압력보상이 필요하지 않다.
질량 유량 컨트롤러, 즉 Mass Flow Controller (MFC) 는 질량 유량계의 기능을 가지고 있을 뿐만 아니라, 더 중요한 것은 사용자가 필요에 따라 유량 설정을 할 수 있는 가스 유량을 자동으로 제어할 수 있다는 것이다. MFC는 시스템 압력에 변동이 있거나 환경 온도에 변화가 있더라도 설정값에서 벗어나지 않도록 자동으로 유량을 설정값에 고정한다.질량 유량 컨트롤러는 수동으로 설정하거나 컴퓨터와 연결하여 자동으로 제어할 수 있는 가스 안정 장치이다.
간단히 말해서, 품질 유량계는 측정만 하고 제어하지 않는다.질량 유량 컨트롤러는 제어 밸브를 가지고 있어 기체 유량 크기를 측정할 수도 있고 제어할 수도 있다.
2. 품질 유량계, 품질 유량 컨트롤러의 유량 단위
가스 질량 유량 단위는 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) 및 SLM(Standard Liter per Minute), 즉 분당 표준 밀리리터, 분당 표준 리터로 표시됩니다.이것은 이 계량기가 서로 다른 사용 조건에서 지시하는 트래픽은 모두 표준 상태의 트래픽이라는 것을 의미한다.이것은 이 계량기와 다른 유량계의 중요한 차이점이며, SCCM, SLM이 Ml/min, L/min과 다른 점이기도 하다.
만약 단위 시간 내에 흐르는 질량 (예: g/min) 이 필요하다면, 표준 상태에서의 기체 밀도를 열람한 후 곱셈을 하면 된다.
3. 품질 유량계/품질 유량 컨트롤러의 주요 장점
(1) 기체의 질량 유량을 직접 측정한다
열식 질량 유량계는 유체의 질량 유량을 직접 측정하고, 질량 유량 신호를 출력하며, 온도 측정기와 압력계와 같은 다른 장비가 필요하지 않으며, 환산할 필요도 없다.
(2) 이동식 섹션 없음
힌지와 같은 이동식 부품이 없으므로 기계적 유지 관리가 필요하지 않고 신뢰성이 향상됩니다.
(3) 미세한 유량을 정확하게 측정할 수 있고, 분류 장치를 사용할 수 있으며, 큰 유량도 측정할 수 있으며, 온도, 압력 범위가 매우 크다.
(4) 측정 제어의 자동화
질량유량계/질량유량컨트롤러는 트래픽 측정값을 표준 신호로 출력할 수 있습니다.이렇게 하면 데이터에 대한 디지털 디스플레이, 데이터 자동 계량, 데이터 자동 기록, 컴퓨터 관리 등을 쉽게 실현할 수 있다.품질 트래픽 컨트롤러의 경우 트래픽을 자동으로 제어할 수도 있습니다.보통,?아날로그 MFC/MFM 입출력 신호는 0~+5V 또는 4~20mA,?디지털 MFC/MFM에는 RS232 또는 RS485 디지털 직렬 통신구도 포함되어 있습니다.?컴퓨터에 쉽게 연결할 수 있습니다.자동 제어를 하다.
(5) 정확한 정량 제어 유량
질량 유량 컨트롤러는 기체의 정량을 정확하게 제어할 수 있는데, 이는 많은 공정 과정에 대한 유량 제어이며, 서로 다른 기체에 대한 비율 제어 등에 사용된다.
(6) 정확도가 높고 반복성이 좋다
정확도 ±1% F.S(full scale) 반복 ±0.25% F.S(full scale)
(7) 크기가 작고 설치가 편리하며 조작이 간단하다
(8) 기술이 선진적이고 발전조류에 부합된다
