关于我们RENHE

Контроллер потока массы газа (Mass Flow Controller, сокращенно MFC) используется для точного измерения и контроля потока массы газа;  Расходомер массы газа (Mass Flow Meter, сокращенно MFM) используется для точного измерения потока массы газа.  Диффузия, окисление, экстенсивность молекулярного пучка, CVD, плазменное травление, распыление, ионное впрыскивание, а также оборудование для вакуумного покрытия, волоконно - оптическая плавка, устройство микрореакции, система газораспределения смеси, капиллярные измерения метеорологический хроматограф, оборудование для производства волокон оптического волокна.  И широко используется в нефтехимии, металлургии, фармацевтике и так далее.  Особенности: высокая точность, хорошее повторение. 

 1 Структура 

 MFM состоит из монтажных плат, датчиков, соединений входных и выходящих газопроводов, корпусов распределительных каналов и других компонентов, которые могут измерять только поток массы газа;  Добавление регулирующего клапана на основе MFM образует MFC, который измеряет и контролирует поток массы газа. 

 2 Принцип работы 

 После того, как поток воздуха попадает на улицу впускного трубопровода, большая часть потока проходит через шунт - канал, небольшая часть которого попадает в капиллярные стальные трубы внутри датчика.  Благодаря специальной структуре шунтирующего канала можно достичь положительной пропорции между этими двумя частями потока газа.  Датчик нагревается подогревом, температура внутри выше температуры входящего воздушного потока, и в это время массовый расход этой небольшой части газа измеряется с помощью принципов теплопередачи капиллярной стальной трубы и термометрии.  Поток газа, измеренный таким образом, может игнорировать влияние температуры и давления, вводит измеренный датчиком сигнал обнаружения потока в монтажную плату и после увеличения выводит функцию MFM.  Включите функцию автоматического управления PID - замкнутым контуром в монтажную плату и сравните измеренный датчиком сигнал обнаружения потока с заданным сигналом, предоставленным пользователем, в качестве основы для управления регуляторным клапаном, чтобы сигнал обнаружения потока был равен заданному сигналу, тем самым реализуя функцию MFC.