1.Что такое расходомер массы? Что такое контроллер качества?
Массовый расходомер (Mass Flow Meter, сокращенно MFM) - это прибор для точного измерения расхода газа, измерения которого не искажаются из - за колебаний температуры или давления и не требуют компенсации температурного давления.
Контроллер потока массы, Mass Flow Controller (сокращенно MFC), не только имеет функцию расходомера массы, но и, что более важно, может автоматически управлять потоком газа, то есть пользователь может настраивать поток по мере необходимости, и MFC автоматически удерживает поток на заданном значении, не отклоняя его от заданного значения, даже если давление в системе колеблется или температура окружающей среды меняется. Проще говоря, контроллер потока массы - это стабилизатор потока, устройство стабилизации потока газа, которое может быть настроено вручную или подключено к компьютеру для автоматического управления.
Каков принцип контроллера потока качества?
Контроллер массы и расхода состоит из датчиков расхода, каналов шунта, клапанов регулирования расхода и регуляторов усиления. Датчики расхода газа измеряют массовый расход газа (без компенсации температурного давления) по принципу тепловой разности капиллярной теплопередачи. Сигнал расхода, измеренный нагревательным мостом датчика, подается в усилитель для усиления, усиленное напряжение обнаружения расхода сравнивается с заданным напряжением, а затем дифференциальный сигнал усиливается для управления регулирующим клапаном, замкнутое кольцо контролирует поток через канал, чтобы он был равен заданному потоку. Разделитель определяет расход основного канала. На дисплее потока, поддерживающем контроллер потока массы, установлен стабилизатор напряжения, цифровой вольтметр, настроенный потенциометр, внешняя установка, встроенное преобразование и трехпозиционный переключатель управления клапаном.
При каких обстоятельствах используется расходомер массы, а при каких - контроллер потока массы?
Как правило, расходомеры массы используются только для измерения или мониторинга потока; Когда требуется контроль потока, используйте контроллер потока качества. В некоторых случаях измерения можно использовать оба, например, измерение пропускной способности капилляров, при измерении потока при постоянном давлении, с помощью расходомера массы; При измерении давления при постоянном токе требуется контроллер потока массы. Обратите внимание, что, когда контроллер потока массы находится в состоянии очистки, он также может использоваться в качестве расходомера массы, за исключением того, что падение давления воздуха больше, чем обычный расходомер массы.
Каковы основные преимущества расходомера массы / контроллера потока массы?
(1) Измерение и контроль расхода не могут быть искажены колебаниями температуры или давления.
Для большинства систем измерения и контроля расхода трудно избежать колебаний давления в системе и изменения температуры окружающей среды и среды. Для обычных расходомеров колебания давления и температуры приведут к большим ошибкам; Для расходомера массы / контроллера потока массы, как правило, ничтожно.
(2) Автоматизация управления измерениями
Качественный расходомер / контроллер потока массы может выводить значения измерения расхода на стандартный выход электрического сигнала. Это облегчает цифровое отображение трафика, автоматическое измерение кумулятивного трафика, автоматическую регистрацию данных, управление компьютером и так далее. Для контроллера потока качества также может быть реализован автоматический контроль потока. Как правило, аналоговый входной и выходной сигнал MFC / MFM составляет 0 ~ + 5 В или 4 ~ 20 мА, цифровой MFC / MFM также оснащен цифровым последовательным выходом RS232 или RS485, который может быть легко подключен к компьютеру для автоматического управления.
(3) Точный количественный контроль потока
Контроллер массы и расхода может точно контролировать подачу газа, что особенно полезно для управления потоком во многих технологических процессах, а также для пропорционального контроля различных газов.
(4) Широкая сфера применения
Имея широкий диапазон рабочего давления, наши продукты могут варьироваться от вакуума до 10 МПа; Может применяться к нескольким газовым средам (включая некоторые коррозионные газы, такие как HCL); Имея широкий диапазон трафика, наш продукт имеет минимальный диапазон трафика от 0 до 5 sccm, * диапазон трафика от 0 до 200 slm. Разрешение отображения потока может достигать 0,1% от полного диапазона, диапазон управления потоком составляет 2 ~ 100% от полного диапазона (отношение диапазона - 50: 1), поэтому широко используется во многих областях.
В чем недостатки расходомера качества? Чего больше всего боится контроллер качества?
Основным недостатком относительно дешевых роторных расходомеров является высокая стоимость.
Использование контроллера качества имеет четыре страха:
* Страх перед пылью, если пыль попадает в расходомер, блокирует датчик и шунт, что приводит к ошибкам измерения и требует установки фильтра перед воздухозаборником;
Второй страх попадания жидкости и масла в MFC может привести к потере контроля, если выход MFC соединен с резервуаром для жидкости, необходимо добавить односторонний клапан на выходе MFC, чтобы предотвратить обратный поток жидкости;
В - третьих, боясь использовать влажные коррозионные газы, влажные коррозионные газы ржавеют нержавеющую сталь, вызывая повреждение канала MFC, поэтому перед использованием коррозионных газов требуется сухая обработка газов и систем трубопроводов MFC;
В - четвертых, существует опасность того, что несоблюдение правил безопасности при использовании опасных газов, таких как сильнокоррозионные, легковоспламеняющиеся, взрывоопасные и токсичные, может привести к повреждению продукта и другим более серьезным потерям. Правильное использование, безопасные операции - это самое главное для каждого пользователя.
Какова концепция диапазона рабочего перепада давления контроллера потока массы?
В контроллере массы и расхода (MFC) установлен клапан регулирования расхода газа, который позволяет регулировать поток через контроллер с нуля до измеренного полного диапазона, и во время работы между входом и выходом контроллера возникает перепад давления, т. е. перепад давления. Рабочий перепад давления MFC обычно составляет 0,1 ~ 0,3 МПа, и если перепад давления ниже * значения (0,1 МПа), возможно, что контроль не достигает значения полного диапазона; Если значение выше * (0,3 МПа), возможно, что при закрытии трафик не может быть меньше 2% F.S. Когда пользователь использует MFC, независимо от того, работает ли реакторная камера вакуума или высокого давления, он должен поддерживать перепад давления на обоих концах входящего и выходящего газа MFC в пределах требуемого диапазона перепадов давления и требовать, чтобы давление воздуха было относительно стабильным.
Как использовать контроллер качества и расхода в условиях высокого давления?
Диапазон рабочего перепада давления контроллера потока массы обычно относительно мал, и для нормального использования в условиях высокого давления необходимо обратить особое внимание на три момента: *, чтобы выбрать MFC, который соответствует требованиям к давлению; Во - вторых, выбрать модель продукта с большим рабочим перепадом давления; В - третьих, перед газовым каналом MFC должен быть установлен редуктор давления, стабилизировано входное давление, в нижнем течении MFC - обратный клапан, стабилизировано давление в реакционной камере и выходе MFC, правильно отрегулирован редуктор давления и обратный клапан, чтобы гарантировать, что рабочий перепад давления MFC не превысит заданного диапазона. При выполнении этих трех задач MFC может стабильно работать в условиях высокого давления.
8. Как настроить продукт низкого давления контроллера потока массы с использованием испарительного пара летучей жидкости при очень низком давлении?
Некоторые пользователи используют испарительный пар летучей жидкости в качестве источника газа (например, с ацетоном и т. Д.), давление воздуха очень низкое, с обычным MFC, не может нормально работать. В этом случае пользователь должен сделать специальное заявление поставщику, чтобы настроить контроллер потока качества с низким давлением. Обычно можно настроить MFC с рабочим перепадом давления менее 0,01 МПа, когда диапазон рабочего перепада давления MFC также уменьшается.
Обратите внимание, что при испарении паров летучими жидкостями карбиды не должны появляться в MFC, что влияет на нормальную работу MFC. Для предотвращения росы трубопроводы и MFC могут быть надлежащим образом нагружены, но температура рабочей среды MFC обычно не должна превышать 50°C. Если пользователь хочет, чтобы температура рабочей среды MFC превышала 65 ° C, ему необходимо приобрести специальный высокотемпературный продукт MFC.
Может ли контроллер массы и расхода использоваться для контроля коррозионных и специальных газов? Как выбрать герметичный материал?
Контроллеры массы и расхода могут использоваться для управления различными газами, включая коррозионные газы и специальные газы, но обратите внимание, что для использования коррозионных и специальных газов требуется правильный выбор типа и уплотнительного материала. При размещении заказа пользователь должен сделать специальное заявление поставщику об использовании газа, чтобы избежать серьезных потерь из - за неправильного выбора или выбора герметичного материала.
Влажные материалы, которые обычно контактируют с рабочим газом с регулятором качества газа, включают 316L нержавеющую сталь, полифторэтилен и уплотнительные материалы, которые делятся на две основные категории: металлическое уплотнение и резиновое уплотнение. Металлические уплотнения обычно являются коррозионностойкими материалами, такими как нержавеющая сталь, золото или никель. MFC с металлическим уплотнением в принципе может использоваться для любого газа, включая различные коррозионные и специальные газы. Для сильно коррозионных газов, таких как трибромид бора, трихлорид бора, фторид водорода и оксид металла, используемых в МОХВ *, рекомендуется использовать металлизированный герметизированный MFC.
Из - за высокой цены MFC на металлическое уплотнение, как правило, в менее требовательных случаях используется резиновое уплотнение MFC. Если нет специального заявления, MFC герметизируется фтористым каучуком и может использоваться для большинства кислотных и щелочных коррозионных газов, например, для галогенированных сухих газов, таких как хлорид водорода. Некоторые другие специальные коррозионные газы требуют специального каучука. аммиак - требуется использование аммиачно - стойкого каучука, такого как этиленпропилен, хлорбутадиен или бутадиен; Органические растворители паровая атмосфера (ацетон, толуол и т.д.) - требуется силиконовый каучук; Трибромид бора, трихлорид бора, фторид водорода и т.д. - Требуется перфторированный каучук.
На что следует обратить внимание при выборе продукции и заказа?
Это касается жизненно важных интересов пользователей и связано с большим количеством вопросов, поэтому мы даем как можно более четкие и объективные ответы.
(1) Обратите внимание на правильный выбор марки
Как правило, следует всесторонне измерять качество продукции производителя, продажную цену, послепродажное обслуживание, технический уровень, характеристики продукции, размер производства, репутацию предприятия и другие факторы.
(2) Обратите внимание на выбор правильного измерения
А. Преобразование требуемого трафика в трафик в стандартном состоянии (массовый трафик).
В. В соответствии с таблицей коэффициентов преобразования массы и расхода, представленной изготовителем, преобразуйте значение массы и расхода используемого вами газа в значение потока массы, эквивалентное азоту (калиброванный газ). Если вы хотите откалибровать газ, который вы используете, пожалуйста, сообщите об этом производителю. Ниже приводятся дополнительные ответы на вопросы, касающиеся коэффициента преобразования потока массы.
С. Определение требуемых стандартных диапазонов. У производителя, как правило, есть свой собственный стандартный диапазон различных спецификаций, вы фактически используете трафик * значение должно быть ниже определенного стандартного диапазона. При выборе стандартных параметров следует избегать слишком большого или слишком малого размера. Показатель погрешности потока массы определяется в процентах от значения полного диапазона, и относительная погрешность измерения больше, если фактический расход меньше, а значение диапазона слишком велико.
(3) Обратите внимание на выбор правильного показателя рабочего давления
Показатели рабочего давления могут быть разными для разных продуктов, обратите внимание на выбор подходящего продукта.
Контроллер потока массы (MFC) В дополнение к * рабочему давлению, есть еще один показатель рабочего давления: рабочий перепад давления, то есть перепад давления между входным и выпускным концами MFC, обратите внимание при выборе, также обратите внимание при использовании.
(4) Обратите внимание на выбор подходящего показателя точности
Точность, линейность и точность повторения являются более важными показателями, из которых точность повторения особенно важна во многих случаях применения. Показатели необязательно преследуются * и должны учитывать свои собственные реальные потребности.
Если вы не уверены в показателях, предоставленных производителем, условные пользователи также могут откалибровать их сами. Метод калибровки см. ниже.
(5) Обратите внимание на выбор подходящего показателя времени отклика
Некоторые приложения имеют более высокие требования к времени отклика на MFC, и пользователи должны учитывать их в своих условиях. При рассмотрении показателей времени отклика следует также учитывать процесс отклика и динамические характеристики.
(6) Обратите внимание, есть ли требования к месту установки
Некоторые производители требуют установки в горизонтальном положении.
(7) Обратите внимание на использование газов и сферу применения
MFM / MFC имеет определенный диапазон применения к используемой среде и температуре среды, давлению источника газа, среде (особенно при использовании коррозионных газов), обратите внимание на чтение инструкции или проконсультируйтесь с производителем.
(8) Обратите внимание на форму соединения
Как правило, есть два варианта разъемов: Swagelok и VCR, которые лучше подходят для высокопроизводительных приложений.
(9) В заказе должно быть указано:
Название изделия, модель, спецификация расхода, калибровка газа, использование газа (особенно коррозионного газа), форма соединения и количество.
11. При покупке расходомера качества / контроллера потока качества необходимо ли покупать дополнительные комплектующие продукты?
Как правило, для этого требуются датчики трафика. Дисплей трафика обеспечивает рабочее питание для MFM / MFC, отображает трафик и выполняет операции настройки трафика для MFC. Если MFM / MFC напрямую подключен к компьютерной системе измерения и управления, в зависимости от обстоятельств, дисплей трафика также может быть недоступен.
Кроме того, в соответствии с потребностями системы можно приобрести запорный клапан, фильтр, сушилку, односторонний клапан, штуцер, редуктор давления, клапан противодавления и так далее.