400-8899-564
Bộ điều khiển lưu lượng khí (Mass Flow Controller viết tắt MFC) được sử dụng để đo lường và kiểm soát chính xác lưu lượng khối của khí; Đồng hồ đo lưu lượng khối khí (Mass Flow Meter viết tắt MFM) được sử dụng để thực hiện các phép đo chính xác về lưu lượng khối của khí. khuếch tán, oxy hóa, kéo dài chùm phân tử, CVD, khắc plasma, phún xạ, tiêm ion, cũng như thiết bị sơn chân không, nóng chảy sợi quang, thiết bị vi phản ứng, hệ thống phân phối khí hỗn hợp, sắc ký khí tượng đo mao mạch, thiết bị sản xuất sợi dẫn quang. Và được sử dụng rộng rãi trong hóa dầu, luyện kim, dược phẩm, v.v. Tính năng: Độ chính xác cao, độ lặp lại tốt.
1, Cấu trúc
MFM bao gồm bảng mạch, cảm biến, đầu nối đường ống dẫn khí vào và ra, vỏ kênh chuyển lưu và các thành phần khác, chỉ có thể đo lưu lượng khí; Thêm van điều chỉnh trên cơ sở MFM tạo thành MFC cho phép đo lưu lượng khí và kiểm soát lưu lượng.
2, Nguyên tắc làm việc
Sau khi luồng không khí đi vào đường ống dẫn khí, phần lớn dòng chảy chảy qua kênh chuyển lưu, trong đó một phần rất nhỏ đi vào ống thép mao dẫn bên trong cảm biến. Do cấu trúc đặc biệt của kênh chuyển lưu, hai phần lưu lượng khí này có thể đạt được mối quan hệ tỷ lệ dương. Cảm biến được làm nóng trước, nhiệt độ bên trong cao hơn nhiệt độ dòng không khí đi vào, tại thời điểm này, một phần nhỏ của lưu lượng khí được đo bằng nguyên tắc truyền nhiệt ống mao dẫn và phương pháp nhiệt lượng chênh lệch nhiệt độ. Lưu lượng khí đo bằng phương pháp này có thể bỏ qua ảnh hưởng của nhiệt độ và áp suất, đưa tín hiệu phát hiện lưu lượng đo được của cảm biến vào bảng mạch, sau khi khuếch đại đầu ra, chức năng của MFM đã hoàn thành. Bảng mạch được thêm vào chức năng điều khiển tự động vòng kín PID, cảm biến đo được tín hiệu phát hiện dòng chảy so với tín hiệu cài đặt do người dùng đưa ra, đây là van điều khiển cơ bản, để tín hiệu phát hiện dòng chảy và tín hiệu cài đặt bằng nhau, do đó, chức năng MFC được thực hiện.
