400-8899-564
1. Đồng hồ đo lưu lượng khối là gì? Quality Flow Controller là gì?
Đồng hồ đo lưu lượng khối, Mass Flow Meter (viết tắt MFM), là một thiết bị đo lưu lượng khí chính xác với các phép đo không bị thay đổi do biến động nhiệt độ hoặc áp suất và không yêu cầu bồi thường áp suất nhiệt độ.
Bộ điều khiển lưu lượng khối, tức là Mass Flow Controller (viết tắt MFC), không chỉ có chức năng đo lưu lượng khối, mà quan trọng hơn, nó có thể tự động điều khiển lưu lượng khí, tức là người dùng có thể đặt lưu lượng theo yêu cầu, MFC tự động giữ lưu lượng không đổi trên giá trị cài đặt, ngay cả khi áp suất hệ thống dao động hoặc nhiệt độ môi trường thay đổi, nó sẽ không làm cho nó lệch khỏi giá trị cài đặt. Nói một cách đơn giản, bộ điều khiển lưu lượng khối là một thiết bị ổn định dòng chảy, một thiết bị ổn định dòng khí có thể được thiết lập bằng tay hoặc kết nối với máy tính để điều khiển tự động.
2. Nguyên tắc của bộ điều khiển lưu lượng chất lượng là gì?
Bộ điều khiển lưu lượng khối bao gồm các bộ phận như cảm biến lưu lượng, kênh chuyển lưu, van điều chỉnh lưu lượng và bộ điều khiển khuếch đại. Cảm biến lưu lượng khí đo lưu lượng khối của khí (không cần bù áp suất nhiệt độ) bằng cách sử dụng nguyên tắc phương pháp nhiệt lượng chênh lệch nhiệt độ truyền mao mạch. Tín hiệu dòng chảy đo được bằng cầu sưởi ấm cảm biến được gửi vào bộ khuếch đại, điện áp phát hiện dòng chảy được khuếch đại và điện áp cài đặt để so sánh, sau đó tín hiệu chênh lệch được khuếch đại để kiểm soát van điều chỉnh, vòng kín kiểm soát dòng chảy qua kênh để làm cho nó bằng với dòng chảy được thiết lập. Một splitter xác định dòng chảy của kênh chính. Bộ hiển thị lưu lượng phù hợp với bộ điều khiển lưu lượng chất lượng được thiết lập với nguồn điện ổn định, đồng hồ đo điện áp kỹ thuật số, thiết lập chiết áp, thiết bị ngoại vi, chuyển đổi thiết bị bên trong và công tắc điều khiển van ba vị trí, v.v.
3. Trong trường hợp nào với đồng hồ đo lưu lượng khối và trong trường hợp nào với bộ điều khiển lưu lượng khối?
Nói chung, khi chỉ đo hoặc giám sát dòng chảy, với đồng hồ đo lưu lượng khối; Khi cần kiểm soát lưu lượng, hãy sử dụng bộ điều khiển lưu lượng chất lượng. Trong một số trường hợp đo lường, cả hai đều có thể, chẳng hạn như đo lường khả năng lưu thông của mao mạch, khi đo dòng chảy áp suất cố định, sử dụng đồng hồ đo lưu lượng khối; Khi đo áp suất dòng cố định, cần phải sử dụng bộ điều khiển lưu lượng khối. Lưu ý rằng khi bộ điều khiển lưu lượng khối ở trạng thái làm sạch, nó cũng có thể được sử dụng khi đồng hồ đo lưu lượng khối, nhưng áp suất không khí giảm lớn hơn một chút so với đồng hồ đo lưu lượng khối thông thường.
4. Những ưu điểm chính của đồng hồ đo lưu lượng khối/bộ điều khiển lưu lượng khối là gì?
(1) Đo và kiểm soát dòng chảy không bị mất do biến động nhiệt độ hoặc áp suất.
Đối với hầu hết các hệ thống đo lưu lượng, rất khó để tránh biến động áp suất của hệ thống và thay đổi nhiệt độ môi trường và môi trường. Đối với đồng hồ đo lưu lượng thông thường, biến động áp suất và nhiệt độ sẽ dẫn đến lỗi lớn; Đối với đồng hồ đo lưu lượng khối/bộ điều khiển lưu lượng khối, nó thường không đáng kể.
(2) Tự động hóa điều khiển đo lường
Đồng hồ đo lưu lượng khối/bộ điều khiển lưu lượng khối có thể đo lưu lượng để đầu ra tín hiệu điện tiêu chuẩn. Điều này giúp dễ dàng thực hiện hiển thị kỹ thuật số lưu lượng truy cập, đo lưu lượng tích lũy tự động, ghi dữ liệu tự động, quản lý máy tính, v.v. Đối với bộ điều khiển lưu thông chất lượng mà nói, bạn cũng có thể thực hiện điều khiển tự động lưu thông. Thông thường, tín hiệu đầu vào và đầu ra MFC/MFM tương tự là 0~+5V hoặc 4~20mA, MFC/MFM kỹ thuật số cũng được trang bị cổng nối tiếp kỹ thuật số RS232 hoặc RS485, có thể rất dễ dàng kết nối với máy tính để điều khiển tự động.
(3) Kiểm soát dòng chảy định lượng chính xác
Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng có thể kiểm soát chính xác lượng khí, đặc biệt hữu ích cho nhiều quy trình công nghệ để kiểm soát dòng chảy, kiểm soát tỷ lệ các loại khí khác nhau, v.v.
(4) Phạm vi áp dụng rộng
Có một phạm vi áp suất làm việc rộng, sản phẩm của chúng tôi có thể đi từ chân không đến 10MPa; Có thể phù hợp với nhiều loại khí trung bình (bao gồm một số khí ăn mòn như HCL); Có một phạm vi dòng chảy rộng, phạm vi dòng chảy tối thiểu của sản phẩm của chúng tôi có thể đạt 0~5 sccm, * phạm vi dòng chảy có thể đạt 0~200 slm. Độ phân giải của màn hình lưu lượng có thể đạt 0,1% toàn bộ phạm vi, phạm vi kiểm soát lưu lượng là 2~100% toàn bộ phạm vi (tỷ lệ phạm vi là - 50: 1), vì vậy nó được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực.
5. Nhược điểm của đồng hồ đo lưu lượng khối là gì? Điều gì đáng sợ nhất khi sử dụng bộ điều khiển lưu lượng chất lượng?
Đối với lưu lượng kế cánh quạt tương đối rẻ, khuyết điểm chính của lưu lượng kế chất lượng là giá cả khá đắt.
Sử dụng bộ điều khiển lưu lượng chất lượng có bốn nỗi sợ:
* Sợ bụi, nếu bụi đi vào đồng hồ đo lưu lượng sẽ làm tắc nghẽn cảm biến và bộ chia, gây ra lỗi đo lường, yêu cầu lắp đặt bộ lọc trước cửa hút gió;
Thứ hai sợ chất lỏng và dầu bẩn vào MFC, sẽ gây ra mất kiểm soát, nếu đầu ra của MFC được nối với bể chứa chất lỏng, cần phải có van một chiều trong đầu ra MFC để ngăn chặn dòng chảy trở lại của chất lỏng;
Thứ ba sợ sử dụng khí ăn mòn ẩm ướt, khí ăn mòn ẩm ướt sẽ làm cho thép không gỉ rỉ sét, gây ra thiệt hại kênh MFC, do đó, yêu cầu trước khi sử dụng khí ăn mòn, khí và hệ thống đường ống MFC phải được xử lý khô;
Thứ tư, sợ trong việc sử dụng các khí độc hại như ăn mòn mạnh, dễ cháy và nổ, độc hại không hoạt động theo các quy tắc an toàn, có thể gây ra thiệt hại sản phẩm và tổn thất nghiêm trọng hơn khác. Sử dụng đúng cách, hoạt động an toàn và quan trọng nhất đối với mọi người dùng.
6. Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc của bộ điều khiển lưu lượng khối là khái niệm gì?
Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) được thiết lập với một van điều chỉnh lưu lượng khí, van có thể làm cho dòng chảy thông qua bộ điều khiển từ 0 đến đo toàn bộ phạm vi, trong quá trình làm việc, giữa đầu vào và đầu ra của bộ điều khiển sẽ tạo ra một sự giảm áp suất không khí, tức là chênh lệch áp suất. Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc của MFC thường là 0,1~0,3 MPa, nếu chênh lệch áp suất thấp hơn giá trị * (0,1 MPa), có thể kiểm soát không đạt được giá trị phạm vi đầy đủ; Nếu cao hơn giá trị * (0.3MPa), có thể lưu lượng không được nhỏ hơn 2% FS khi tắt. Khi người dùng sử dụng MFC, bất kể buồng phản ứng làm việc của người dùng là chân không hay áp suất cao, nên giữ chênh lệch áp suất ở cả hai đầu của MFC trong phạm vi chênh lệch áp suất yêu cầu và yêu cầu áp suất không khí tương đối ổn định.
7. Làm thế nào để bộ điều khiển lưu lượng chất lượng được sử dụng trong điều kiện áp suất cao?
Phạm vi chênh lệch áp suất làm việc của bộ điều khiển lưu lượng chất lượng thường tương đối nhỏ, để sử dụng bình thường trong điều kiện áp suất cao cần đặc biệt chú ý đến ba điểm: *, là để chọn MFC chịu áp lực phù hợp với yêu cầu; Thứ hai, chọn các mô hình sản phẩm có phạm vi chênh lệch áp suất làm việc lớn; Thứ ba, để thêm van giảm áp ở phía trước đường dẫn khí MFC, ổn định áp suất không khí đầu vào, thêm van áp suất ngược ở hạ lưu MFC, ổn định áp suất không khí của buồng phản ứng và đầu ra MFC, điều chỉnh thích hợp van giảm áp và van áp suất ngược, để đảm bảo chênh lệch áp suất làm việc của MFC sẽ không vượt quá phạm vi quy định. Chỉ với ba điểm trên, MFC có thể hoạt động ổn định trong điều kiện áp suất cao.
8. Sử dụng hơi bay hơi lỏng dễ bay hơi, áp suất không khí rất thấp, làm thế nào để tùy chỉnh các sản phẩm giảm áp suất thấp của bộ điều khiển lưu lượng chất lượng?
Một số người dùng sử dụng hơi bay hơi lỏng dễ bay hơi để làm nguồn không khí (như với acetone, v.v.), áp suất không khí rất thấp, với MFC thông thường, không thể hoạt động bình thường. Lúc này người dùng cần phải tuyên bố đặc biệt với nhà cung cấp, tùy chỉnh bộ điều khiển lưu lượng chất lượng giảm áp suất thấp. Thông thường có thể tùy chỉnh MFC với chênh lệch áp suất làm việc dưới 0,01MPa, khi đó phạm vi chênh lệch áp suất làm việc của MFC cũng sẽ nhỏ hơn.
Lưu ý rằng khi sử dụng hơi bay hơi lỏng dễ bay hơi, không thể để các chất bốc hơi kết tủa trong MFC, điều này sẽ ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của MFC. Để ngăn ngừa sương mù, đường ống và MFC có thể được làm nóng đúng cách, nhưng nhiệt độ môi trường làm việc của MFC thường không vượt quá 50 ° C. Nếu người dùng muốn nhiệt độ môi trường làm việc của MFC vượt quá 65 ℃, cần mua đặc biệt các sản phẩm MFC nhiệt độ cao.
9. Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng có thể được sử dụng để kiểm soát khí ăn mòn và khí đặc biệt không? Làm thế nào để chọn vật liệu niêm phong?
Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng có thể được sử dụng để kiểm soát các loại khí khác nhau, bao gồm cả khí ăn mòn và khí đặc biệt, nhưng lưu ý rằng đối với việc sử dụng khí ăn mòn và khí đặc biệt, cần phải chọn đúng mô hình và vật liệu niêm phong. Khi đặt hàng, người dùng cần phải tuyên bố đặc biệt cho nhà cung cấp về việc sử dụng khí, để tránh tổn thất nghiêm trọng do lựa chọn loại hoặc chọn sai vật liệu niêm phong.
Thông thường các vật liệu ướt của bộ điều khiển lưu lượng chất lượng khí tiếp xúc với khí làm việc là thép không gỉ 316L, PTFE và vật liệu niêm phong, v.v., vật liệu niêm phong được chia thành hai loại chính là niêm phong kim loại và niêm phong cao su. Vật liệu của con dấu kim loại thường là vật liệu chống ăn mòn như thép không gỉ, vàng hoặc niken. MFC với con dấu kim loại về nguyên tắc có thể được sử dụng cho bất kỳ loại khí nào, bao gồm nhiều loại khí ăn mòn và khí đặc biệt. Đối với các khí ăn mòn mạnh như boron tribromide, boron trichloride, hydro florua và khí oxit kim loại được sử dụng bởi MOCVD được khuyến nghị * MFC với con dấu kim loại.
Do giá MFC của con dấu kim loại cao hơn, thường không đòi hỏi nhiều dịp, MFC của con dấu cao su được sử dụng. Nếu không có tuyên bố cụ thể, MFC đều được niêm phong bằng cao su flo và có thể được sử dụng trong hầu hết các khí ăn mòn có tính axit và kiềm, chẳng hạn như khí khô halogen như hydro clorua. Một số khí ăn mòn đặc biệt khác, cần sử dụng cao su đặc biệt. Khí amoniac - cần phải sử dụng cao su chống amoniac, chẳng hạn như cao su EPDM, cao su Neoprene hoặc cao su Ting Qing; Không khí dung môi hữu cơ (acetone, toluene, vv) - cần sử dụng cao su silicon; Boron tribromide, boron trichloride, hydro florua, v.v. - cao su perfluoride là cần thiết.
10. Cần chú ý gì khi lựa chọn sản phẩm và đặt hàng?
Điểm này liên quan đến lợi ích thiết thực của người sử dụng, vấn đề liên quan cũng tương đối nhiều, vì vậy chúng tôi cố gắng trả lời một cách khách quan và tường tận.
(1) Chú ý chọn đúng thương hiệu
Nói chung, các nhà sản xuất nên đo lường toàn diện các yếu tố như chất lượng sản phẩm, giá bán, dịch vụ sau bán hàng, trình độ kỹ thuật, đặc điểm sản phẩm, quy mô sản xuất và uy tín của doanh nghiệp.
(2) Chú ý chọn phạm vi chính xác
A. Chuyển đổi lưu lượng bạn cần sang lưu lượng ở trạng thái tiêu chuẩn (lưu lượng chất lượng).
B. Theo bảng hệ số chuyển đổi lưu lượng khối do nhà sản xuất cung cấp, giá trị lưu lượng khối của khí bạn được chuyển đổi thành giá trị lưu lượng khối tương đương với nitơ (khí định danh). Nếu bạn muốn được đánh dấu bằng khí bạn thực sự sử dụng, vui lòng giải thích cho nhà sản xuất. Các vấn đề liên quan đến hệ số chuyển đổi lưu lượng chất lượng, sau đây còn có câu trả lời tiếp theo.
C. Xác định phạm vi tiêu chuẩn cần thiết. Các nhà sản xuất thường có các thông số kỹ thuật khác nhau của phạm vi tiêu chuẩn, giá trị lưu lượng * bạn thực sự sử dụng phải thấp hơn một giá trị phạm vi tiêu chuẩn nhất định. Lựa chọn phạm vi tiêu chuẩn phải tránh quá lớn hoặc quá nhỏ. Chỉ số lỗi của lưu lượng chất lượng được quy định theo tỷ lệ phần trăm của giá trị phạm vi đầy đủ, nếu lưu lượng thực tế nhỏ và giá trị phạm vi được chọn quá lớn, lỗi tương đối của giá trị đo là lớn.
(3) Chú ý chọn chỉ số áp suất làm việc phù hợp
Chỉ số áp suất làm việc của các sản phẩm khác nhau có thể khác nhau, chú ý chọn sản phẩm phù hợp với mình.
Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC) Ngoài * áp suất làm việc, có một chỉ số áp suất làm việc khác: chênh lệch áp suất làm việc, tức là chênh lệch áp suất giữa đầu vào và đầu ra của MFC, hãy chú ý khi chọn loại và khi sử dụng.
(4) Chú ý chọn chỉ số chính xác phù hợp
Độ chính xác, tuyến tính, độ chính xác lặp lại là một số chỉ số quan trọng hơn, trong đó độ chính xác lặp lại đặc biệt quan trọng trong nhiều trường hợp ứng dụng. Chỉ tiêu không nhất thiết phải theo đuổi *, nên cân nhắc nhu cầu thực tế của mình.
Nếu không yên tâm về chỉ tiêu nhà máy đưa ra, người sử dụng có điều kiện cũng có thể tự mình đánh dấu một chút. Các phương pháp đánh dấu xem những nội dung liên quan dưới đây.
(5) Chú ý chọn chỉ số thời gian đáp ứng thích hợp
Một số hệ thống ứng dụng có yêu cầu cao về thời gian đáp ứng của MFC mà người dùng nên xem xét theo tình huống của họ. Trong khi xem xét các chỉ số thời gian phản hồi, bạn cũng nên chú ý đến quá trình phản hồi và các đặc tính động của chúng.
(6) Chú ý nếu có yêu cầu về vị trí lắp đặt
Một số nhà sản xuất yêu cầu sản phẩm phải được cài đặt ở vị trí ngang.
(7) Chú ý đến việc sử dụng khí và phạm vi áp dụng
MFM/MFC có phạm vi áp dụng nhất định đối với môi trường sử dụng và nhiệt độ môi trường, áp suất nguồn không khí, môi trường (đặc biệt là việc sử dụng khí ăn mòn), v.v., xin vui lòng đọc hướng dẫn hoặc tư vấn với nhà sản xuất.
(8) Chú ý đến hình thức chung
Thường có hai loại đầu nối là Swagelok và VCR, kết nối VCR hoạt động tốt hơn cho các ứng dụng cao cấp.
(9) Đặt hàng phải ghi rõ:
Tên sản phẩm, mô hình, thông số kỹ thuật dòng chảy, khí định danh, khí sử dụng (đặc biệt là khí ăn mòn), hình thức khớp và số lượng.
Khi mua đồng hồ đo lưu lượng khối/bộ điều khiển lưu lượng khối, bạn có cần mua các sản phẩm hỗ trợ khác không?
Thông thường cần thiết bị hiển thị lưu lượng để sử dụng đồng bộ. Bộ hiển thị lưu lượng cung cấp nguồn hoạt động cho MFM/MFC, thực hiện hiển thị lưu lượng và thực hiện các hoạt động thiết lập lưu lượng trên MFC. Nếu MFM/MFC được kết nối trực tiếp với hệ thống đo lường và điều khiển máy tính, nó cũng có thể không phù hợp với màn hình lưu lượng.
Ngoài ra, theo nhu cầu của hệ thống, bạn có thể chọn van cầu, bộ lọc, máy sấy, van một chiều, khớp ống, giảm áp suất, van áp suất ngược, v.v.
