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MFM 가스 유량 품질 컨트롤러에 대한 기본 사항
2023/01/13
질량유량계, 즉 Mass Flow Meter(약칭 MFM)는 기체의 유량을 정확하게 측정하는 계기로서 그 측정값은 온도나 압력의 파동으로 인해 정확하지 않으며 온도압력보상이 필요하지 않다.
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