MFC ,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常工作。原则上不需要温度和压力补偿。
*MFC :MF-10AC,MF-10DC,MF-200DC,MF200DHC, MF-300DC,MF-300DHC,
MF-400DC,MF400DHC,MF-500DC,MF-500DHC,MF-600DC,MF-600DHC............
MFM ,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是一个可以测量不同气体流量的装置,能在较宽的量程范围内快速而精确的测量气体流量。
*MFM : MF-10AM,MF-10DM,MF-200DM,MF-200DHM, MF-300DM,MF300DHM,
MF-400DM,MF400DHM,MF-500DM,MF500DHM,MF-600DM,MF-600DHM...........
(1)气体流量的测量和控制
气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准,对于多数气体流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于精密的气体质量流量控制器,则可以忽略不计。
(2)气体测量控制的自动化
MFC可以将气体流量测量值以标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累计流量自动计量、数据自动记录、电脑管理等,还可以实现流量的自动控制。本产品的电子讯号控制方式为数字量+模拟量。输入输出信号为0~5V /4~20mA or Rs485。
(3)可精确的定量控制流量
MFC可以精确控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等更加精确。本产品有较宽的流量范围,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为50:1)。
(4)连接方法
本产品支持模拟信号0-5V/4-20mA和数字信号RS485控制,可以配合Read out Box 、PLC 和 Pc进行使用。